羅茨真空泵的原理:
羅茨真空泵是雙轉子容積式真空泵。泵腔內有兩個對稱的轉子形狀,轉子形狀有兩個、三個和四個葉片。兩個轉子相互反向旋轉,由軸端齒輪驅動同步旋轉。轉子互不接觸,通常有0.15~1.0mm的間隙,泵腔被間隙密封。
由于羅茨真空泵的泵腔內沒有摩擦,因此轉子可以高速運轉,一般為1500~3000r/min,無需用油潤滑,可以實現無油清潔的泵送過程。泵的潤滑部件限于軸承、齒輪和動密封。該泵沒有往復運動部件,可以實現良好的動平衡。因此,羅茨泵運行平穩,轉速高,體積小,可獲得較大的泵送速度。
由于轉子的連續旋轉,泵送氣體從吸入口進入泵腔,密封在吸入腔的泵體內,然后通過排氣口排出泵外。由于吸入泵體空間的氣體沒有被壓縮,當轉子的頂部翻轉排氣口的邊緣時,此時泵體空間與排氣側連通。由于排氣側的氣體壓力較高,一些高壓氣體回流到泵體空間,導致泵腔內的壓力突然上升到排氣壓力。這就是所謂的外部壓縮過程。轉子當它繼續旋轉時,泵送的氣體從泵中排出。轉子泵的泵送過程是通過兩臺轉子泵的連續運行來實現的。
羅茨泵在真空工程領域中應用時,一般與以前的泵(旋葉真空泵、滑閥真空泵、水環真空泵等)串聯形成一個單元,在中等真空范圍內用作機械增壓泵。兩級或多級羅茨泵機組可獲得高真空;
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